臺式掃描電鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)相較于傳統(tǒng)大型SEM，臺式掃描電鏡具有體積小巧、操作簡便、價格便宜、快速抽真空、不用噴金測量不導(dǎo)電樣品等優(yōu)勢，而且它的放大倍數(shù)可高達(dá)130,000倍。此類新型儀器的出現(xiàn)填補了光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)大型掃描電子顯微鏡之間的空白區(qū)域，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、食品藥品、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)等諸多領(lǐng)域。
 

　　臺式掃描電鏡的工作原理和優(yōu)點：
 

　　成像系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中，真空柱底端即為右圖所示的密封室，用于放置樣品。之所以要用真空，主要基于以下兩點原因：電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效，所以除了在使用SEM時需要用真空以外，平時還需要以純氮氣或惰性氣體充滿整個真空柱。為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成像的電子更多。
 

　　不僅可在真空下，還可在大氣壓下進(jìn)行觀察，含水樣品也無需前處理即可直接觀察，是目前市面上一款大氣壓模式下觀測的掃描電鏡，免去了了生物，食品，化妝品等樣品復(fù)雜的前處理過程，同時還能觀察樣品的原始形貌。臺式掃描電鏡在成分分析方面主要有EDS能譜丶WDS波譜兩種偵測器可以搭配，能譜分析速度較快，元素檢測極限約1000~2000ppm。
 

　　波譜分析速度較慢，但元素偵測極限較好，約在10~100ppm，成分分析分析方法上面有三種模式可以選擇，奈米范圍內(nèi)微小區(qū)域成分分析，可以幫助使用者做特定區(qū)域的分析，可以觀察掃描線段區(qū)域的成分變化。